当前，开云官方网址集成电路学院半导体探测器研发与制作实验室正在紧张施工。副校长纪洪芳近日到实验室施工现场督导调研建设情况，基建处、集成电路学院及工程施工单位、监理单位相关负责人参加。

期间，纪洪芳听取了实验室施工进展、疫情防控、质量监控等情况汇报，与集成电路学院相关负责人、专家教授代表就实验室建设布局、科研应用规划和校企合作前景等情况进行了交流探讨。她指出，半导体探测器研发与制作实验室是实现学校集成电路学科跨越式发展的重要支撑，是集成电路学院与社会企业开展科研合作的关键平台。相关单位要齐心协力、密切配合，切实保质保量按期完成实验室建设任务；要锚定目标、砥砺前行，着力推动集成电路领域工作高质量发展。

集成电路学院半导体探测器研发与制作实验室，于今年6月动工建设，预计9月竣工。实验室总建筑面积392平方米，拥有专用于超纯高阻硅半导体探测器研发的工艺设备，包括光刻机、氧化炉、烘干炉、匀胶机、加热台、雾状显影机、清洗柜、干刻蚀机、甩干机、清洗机、原子层沉积设备、磁控溅射、快速退火炉、超纯水系统等。实验室建设完成后将开展硅漂移探测器、新型三维沟槽电极探测器、硅微条探测器及高阻硅前级场效应管等方面的研发工作。（集成电路学院 撰稿：王涛 审核：郭连军）